¹ßÇà±â°ü ³» °£Ç๰

  • °£Ç๰ ³» °Ë»ö °Ë»ö
  • °£Ç๰ ¶Ç´Â ±Ç/È£¸¦ "-Àüü-" ¼±ÅÃÇϽøé ÅëÇÕ °Ë»öÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù

Ç¥ÁØÀÎÁõ¾ÈÀüÇÐȸÁö

°Ë»ö°á°ú :
5°Ç
Àüü¼±Åà Endnote Refworks
º» ¿¬±¸´Â Á¦Ç°ÀÎÁõ¸¶Å©¿¡ ´ëÇÑ ÀνÄ, ¾ÈÀüÁ¤º¸ ºÒ¸¸, Á¦Ç°¾ÈÀü ºÒ½ÅÀÌ »çÀü Á¦Ç°¾ÈÀü°ü¸®ºÒ¸¸, »çÈľÈÀü°ü¸®°­È­¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâ·ÂÀ» °øº¯·®±¸Á¶ºÐ¼®À» »ç¿ëÇÏ¿© °ËÁõÇÏ¿´´Ù. º» ¿¬±¸ÀÇ ÁÖ¿ä ºÐ¼®°á°ú´Â ´ÙÀ½Ã³·³ ¿ä¾àÇÒ ¼öÀÖ´Ù. ù°, Á¦Ç°¾ÈÀüÁ¤º¸¿¡ ´ëÇÑ ¼ÒºñÀÚºÒ¸¸, Á¦Ç°¾ÈÀü¿¡ ´ëÇÑ ¼ÒºñÀÚºÒ½ÅÀÌ »çÀü Á¦Ç°¾ÈÀü°ü¸®ºÒ¸¸¿¡ Á¤Àû ¿µÇâÀ»¹ÌÄ¡´Â °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù. ÀÌ °á°ú´Â Á¦Ç°¾ÈÀüÁ¤º¸¿¡ ºÒ¸¸ÀÌ ¸¹°í, Á¦Ç°¾ÈÀü¿¡ ´ëÇÑ ¼ÒºñÀÚºÒ½ÅÀÌ ³ôÀº ¼ÒºñÀÚÀϼö·Ï Á¦Ç°»çÀü¾ÈÀü°ü¸®¿¡ ´ëÇÑ ºÒ¸¸ ¼öÁØÀÌ ³ôÀ½À» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. µÑ°, ¸Å°³º¯¼öÀÎ »çÀü Á¦Ç°¾ÈÀü°ü¸® ºÒ¸¸Àº ¼ÒºñÀÚÀÇ »çÈľÈÀü°ü¸®°­È­ ¿ä±¸¿¡ Á¤Àû ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù. »çÀü¾ÈÀü°ü¸®¿¡ ´ëÇÑ ºÒ¸¸ÀÌ ³ôÀº ¼ÒºñÀÚÀϼö·Ï »çÈľÈÀü°ü¸®°­È­ ¿ä±¸°¡ ³ô´Ù°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. º» ¿¬±¸°á°ú¸¦ Åä´ë·Î ¸î °¡Áö Á¦¾ÈÇÏ¿´´Âµ¥, ù°, ¼ÒºñÀÚµéÀÇ Àü¿¡ ´ëÇÑ ÀνÄ, ¼ÒºñÀÚµéÀÇ ¾ÈÀü°ü¸®Á¤Ã¥¿¡´ëÇÑ ¼ö¿ä¸¦ ¹Ý¿µÇÏ´Â ¾ÈÀü°ü¸®Á¤Ã¥À¸·Î ÀüȯµÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. µÑ°, »çÈÄ Á¦Ç°¾ÈÀü°ü¸® °­È­¸¦ Àû±Ø µµÀÔÇÒ Çʿ䰡ÀÖ´Ù. ¼Â°, »çÈľÈÀü°ü¸®ÀÇ ¼ö´ÜÀÎ Áý´Ü¼Ò¼Û¹ý, ¡¹úÀû ¼ÕÇØ¹è»óÁ¦µµ µîÀÇ µµÀÔÀ» Àû±Ø °ËÅäÇÏ°í ºÒ¹ýÇàÀ§¿¡ ´ëÇÑ »ç¾÷ÀÚÀÇ ¼ÕÇØ¹è»óÃ¥ÀÓÀ» ¾ö°ÝÈ÷ ºÎ°ú½ÃÄÑ »ç¾÷ÀÚÀÇ ºÒ¹ýÇàÀ§ ¹× Á¦Ç°¾ÈÀü»ç°í¸¦ ¿¹¹æÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ³Ý°, Á¦Ç°¾ÈÀü»ç°í¿¡ ´ëÇÑ Áý´ÜÇÇÇØ±¸Á¦ ÀÎÁ¤, Á¦Ç°°áÇÔ µîÀÇ ÀÔÁõÃ¥ÀÓ µî¿¡¼­ ¼ÒºñÀÚ °üÁ¡ÀÌ ¹Ý¿µµÇ¾î¾ß ÇÑ´Ù. ´Ù¼¸Â°, ¼ÒºñÁ¦Ç°ÀÇ »çÀü ¾ÈÀü°ü¸®¸¦ öÀúÈ÷ Çϱâ À§ÇØ Àü¹®Àû °ü¸®Ã¼°è ±¸Ãà, À§Çؼº¿¡ ´ëÇÑ °úÇÐÀû ºÐ¼® ¹× À§ÇØÁ¤º¸Ã¼°è ±¸ÃàÀÌ ½Ã±ÞÇÏ´Ù. ³¡À¸·Î ¼ÒºñÀÚÀÇ ¾ÈÀüÀÇ½Ä °íÃë·Î Á¦Ç°À¸·Î ÀÎÇÑ ´ëÇü ¾ÈÀü»ç°í ¿¹¹æÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸ÀÇ ¸ñÀûÀº Áß¡¤°í±³ ¡®±â¼ú¡¤°¡Á¤¡¯°ú ±³À°°úÁ¤¿¡ Á¦½ÃµÈ Ç¥ÁØ ±³À°ÀÇ ¸ñÀû°ú ±× ±³°ú¼­¿¡ Á¦½ÃµÈ Ç¥ÁØ ´Ü¿ø ³»¿ëÀ» ºÐ¼®Çϱâ À§ÇÑ °ÍÀ̾ú´Ù. ÀÌ ¿¬±¸ÀÇ ¸ñÀûÀ» ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇÏ¿© ±³À°°úÁ¤ ½Ã±âº° ÁßÇб³ ¹× °íµîÇб³ÀÇ¡®±â¼ú¡¤°¡Á¤¡¯°ú ±³À°°úÁ¤¿¡ Á¦½ÃµÈ Ç¥ÁØ ±³À°ÀÇ ¸ñÀûÀ» ºÐ¼®Çϰí 12Á¾ÀÇ ¡®±â¼ú¡¤°¡Á¤¡¯ ±³°ú¼­¿¡ Á¦½ÃµÈ Ç¥ÁØ ´Ü¿øÀÇ ºÐ¼®ÀÌ ÀÌ·ç¾î Á³´Ù. ÀÌ ¿¬±¸ÀÇ ºÐ¼® °á°ú¸¦ ¿ä¾àÇÏ¸é ´ÙÀ½°ú °°´Ù. ù°, ¿ì¸®³ª¶ó Çб³ ±³À°¿¡¼­ Ç¥ÁØ ±³À°Àº 2007 °³Á¤ ÁßÇб³ ±³À°°úÁ¤ÀÇ ¡®±â¼ú¡¤°¡Á¤¡¯°úÀÇ ¼Ò´Ü¿øÀ¸·Î óÀ½µîÀåÇÏ¿´À¸¸ç, 2015 °³Á¤ ±³À°°úÁ¤¿¡¼­´Â ÁßÇб³¿¡¼­´Â Áß´Ü¿ø ¼öÁØÀ¸·Î È®´ëµÇ¾úÀ¸¸ç, °íµîÇб³ ¡®±â¼ú¡¤°¡Á¤¡¯ ¹× ¡®°øÇбâ¼ú¡¯ °ú¸ñÀÇ ´Ü¿øÀ¸·Î µîÀåÇÏ¿´´Ù. µÑ°, ÁßÇб³¿¡¼­ÀÇ Ç¥Áر³À°Àº ÁÖ·Î ¼ÒºñÀڷμ­ ±â¼úÀÇ ÀÌ¿ë°ú Ç¥ÁØÀÇ Çʿ伺¿¡ ÃÊÁ¡À» µÎ¾î »ýȰ ¼ÓÀÇ Ç¥ÁØÈ­ »ç·Ê µîÀÌ ÁÖ¿ä ³»¿ëÀ̾ú´Ù. ¼Â°, °íµîÇб³¿¡¼­ÀÇ Ç¥Áر³À°Àº ÁÖ·Î ±â¼úÀÇ °³¹ß°ú Ç¥ÁØÀÇ Á߿伺¿¡ ÃÊÁ¡À» µÎ¾î Á¦Ç°ÀÇ °³¹ß °úÁ¤¿¡¼­ÀÇÇ¥ÁØÈ­ »ç·Ê µîÀÌ ÁÖ¿ä ³»¿ëÀ¸·Î µîÀå ÇÏ¿´´Ù.
º» ¿¬±¸´Â ÷°¡Á¦ÀÇ ÀÔÀÚÅ©±â¿¡ µû¸¥ ¹°¸®Àû Ư¼ºÀ» ºñ±³Çϱâ À§ÇÏ¿© ¼öÇàÇÏ¿´´Ù. 100nm¿Í 500nm Å©±âÀÇź¼Ò³ª³ëÀÔÀÚ¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© µÎ °¡Áö À¯ÇüÀÇ ¼ÒÇÁÆ®ÄÜÅÃÆ®·»Á Á¦Á¶ÇÏ¿´´Ù. Á¦Á¶µÈ ·»ÁîÀÇ ÀÎÀå°­µµ µîÀÇ ¹°¼ºÀ»ÃøÁ¤Çϰí ÀüÀÚÁÖ»çÇö¹Ì°æ(SEM)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ·»Áî Ç¥¸éÀÇ ³ª³ëÀÔÀÚ »óŸ¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿© ºñ±³ÇÏ¿´´Ù. SEM ÃøÁ¤°á°ú³ª³ëÀÔÀÚÀÇ Å©±â¿¡ µû¸¥ ¼Ò¼ö¼º¿¡ µû¶ó ºÐ»êÁ¤µµ°¡ ´Þ¶óÁ® 100nm º¸´Ù 500nmÀÇ ³ª³ëÀÔÀÚ°¡ ´õ °í¸£°Ô ºÐ»êµÇ¾î ÀÖÀ½À» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ÃøÁ¤µÈ ¹°¸®Àû Ư¼ºÀº ´Ù¾çÇÏ°Ô ³ªÅ¸³µÀ¸¸ç ź¼ÒÀÔÀÚ¿¡ ÀÇÇÑ ÀÎÀå°­µµ Áõ°¡´Â ÀÔÀÚ°¡ °í¸£°Ô ºÐ»êµÈ 500nmÀÇ Åº¼Ò³ª³ëÀÔÀÚÀÇ »ç¿ë¿¡¼­ ƯÈ÷ È¿°úÀûÀ̾ú´Ù. ź¼Ò³ª³ëÀÔÀÚÀÇ Å©±â¿¡ µû¶ó ºÐ»êÁ¤µµ°¡ ´Þ¶óÁ³À¸¸ç ¹°¸®Àû Ư¼ºÀÌ ´Ù¾çÇÏ°Ô ³ªÅ¸³µ´Ù. ÷°¡Á¦·Î »ç¿ëµÈ ÀÔÀÚ °íÀ¯ÀÇ ¼ºÁúÀ» µµÃâÇϱâ À§ÇÏ¿© ÷°¡Á¦ÀÇ ºÐ»çÁ¤µµ¸¦ ÃÖ´ëÇÑ À¯Áö½ÃÄÑ¾ß ÇÒ °ÍÀ¸·Î ÆÇ´ÜµÈ´Ù. ÇöÀç ÄÜÅÃÆ®·»ÁîÀÇ Á¦Á¶¿¡¼­ °íºÐÀÚÀÇ °áÇÕÁ¤µµ¸¦ Æò°¡ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀº Ç¥ÁØÈ­ µÇ¾îÀÖÀ¸³ª ³ª³ëÀÔÀÚÀÇ °áÇÕ ¹× ºÐ»êÁ¤µµ¿¡ °üÇÑ ¿¬±¸´Â ºÎÁ·ÇÑ »óȲÀÌ´Ù. º» ½ÇÇè°á°ú·Î º¼¶§ ÄÜÅÃÆ®·»Áî Á¦Á¶¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ³ª³ëÀÔÀÚÀÇ Å©±â¿Í ºÐ»ê¼º¿¡ µû¶ó °íºÐÀÚÀÇ ¹°¸®Àû Ư¼ºÀÌ ´Þ¶óÁö¹Ç·Î Á¤È®ÇÑ ºÐ¼®À» À§ÇØ ±Ô°ÝÈ­µÈ ½ÃÇè¹æ¹ýÀÌ ÇÊ¿äÇϸç À̸¦ ÅëÇØ ½Å·Ú¼ºÀÌ º¸ÀåµÈ Á¤È®ÇÑ Æò°¡°¡ ¿ä±¸µÈ´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸ÀÇ ¸ñÀûÀº ÇöÀç Àû¿ëµÇ°í ÀÖ´Â ±³¿ø ÀÚ°ÝÁõ Ç¥½Ã°ú¸ñ ¡®±â¼ú¡¯ÀÇ ±âº»À̼ö°ú¸ñ ¶Ç´Â ºÐ¾ßÀÇ ¹®Á¦Á¡À» ÆÄ¾ÇÇÏ°í °³¼±¾ÈÀ» µµÃâÇϱâ À§ÇÑ °ÍÀ̾ú´Ù. À̸¦ À§ÇÏ¿© Ç¥½Ã°ú¸ñ ¡®±â¼ú¡¯ÀÇ ±âº»À̼ö°ú¸ñ(¶Ç´Â ºÐ¾ß)ÀÇ º¯Ãµ ³»¿ëÀ»È®ÀÎÇϰí, ±âº»À̼ö°ú¸ñ(¶Ç´Â ºÐ¾ß) °¡¿îµ¥ Ç¥½Ã°ú¸ñ ¡®±â¼ú¡¯°úÀÇ °ü·Ã¼ºÀ» ºÐ¼®ÇÏ¿´´Ù. ÀÌ¿Í ÇÔ²² ÇöÀç Àû¿ëµÇ°íÀÖ´Â 2015 °³Á¤ ½Ç°ú(±â¼ú¡¤°¡Á¤)°ú ¡®±â¼úÀÇ ¼¼°è¡¯ ºÐ¾ßÀÇ ±³À°°úÁ¤ÀÇ ³»¿ë°ú ºñ±³ ºÐ¼®ÇÏ¿´´Ù. ÀÌ ¿¬±¸¿¡¼­ ¹àÇôÁø ±³»ç ÀÚ°ÝÁõ Ç¥½Ã°ú¸ñ ¡®±â¼ú¡¯ÀÇ ±âº»À̼ö°ú¸ñ(¶Ç´Â ºÐ¾ß)ÀÇ ºÐ¼® °á°ú´Â ´ÙÀ½°ú °°´Ù. ù°, ÇöÇà 2015 °³Á¤ ¡®±â¼ú¡¤°¡Á¤¡¯°ú ±â¼ú ºÐ¾ß ±³À°°úÁ¤°ú °ü·ÃÀÌ ¾ø°Å³ª Á¾·¡ÀÇ °ø¾÷ ±³À°¿¡ ¼ÓÇÏ´Â °ú¸ñÀ¸·Î ´Ù¼ö Á¸ÀçÇÏ¿´´Ù. µÑ°·Î, ÇöÇà ¡®±â¼ú¡¤°¡Á¤¡¯°ú ±â¼ú ºÐ¾ß ±³À°°úÁ¤ ³»¿ë°ú °ü·ÃÀÌ ¾ø°í ¹Ì·¡¿¡ Ȱ¿ëµÇ±â ¾î·Á¿î ³»¿ëÀ» ´Ù·ç´Â°ú¸ñÀÌ Á¸ÀçÇÏ¿´´Ù. ¼Â°, ÇöÇà ¡®±â¼ú¡¤°¡Á¤¡¯°ú ±â¼ú ºÐ¾ßÀÇ ±â¼ú Ȱ¿ë ¿µ¿ª°ú °ü·ÃµÈ ±âº»À̼öºÐ¾ß ¶Ç´Â °ú¸ñÀÌ Á¸ÀçÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù´Â¹®Á¦Á¡À» ¹ß°ßÇß´Ù. ÀÌ ¿¬±¸¿¡¼­´Â ÀÌ·¯ÇÑ ºÐ¼® °á°ú¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¡®±â¼ú¡¯ ±³»ç ÀÚ°ÝÁ¾º°¡¤Ç¥½Ã°ú¸ñº° ±âº»À̼ö°ú¸ñ(¶Ç´Â ºÐ¾ß)¿¡ ´ëÇÑ ´ë¾ÈÀ¸·Î 7°³ÀÇ ±âº»À̼öºÐ¾ß·Î ÀÌ·ç¾îÁø °³¼±¾ÈÀ» °³¹ßÇÏ¿´´Ù. ¾ÕÀ¸·Î °³¼±µÈ ¡®±â¼ú¡¯ ±³»ç ÀÚ°ÝÁ¾º°¡¤Ç¥½Ã°ú¸ñº° ±âº»À̼ö°ú¸ñ(¶Ç´Â ºÐ¾ß)¸¦ ÅëÇÏ¿© Á÷Àü ±³»çµéÀÌ ÇöÇàÈ­µÈ ±³À°°úÁ¤¿¡ µû¶ó ±â¼ú ±³À°ÀÇ ¸ñÇ¥¸¦ È¿°úÀûÀ¸·Î ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¼ö¾÷À» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´É·Â ÇԾ翡 À̹ÙÁöÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀÌ´Ù.
º» ¿¬±¸´Â Ç¥ÁغоßÀÇ ¼º°úÇâ»óÀ» À§ÇÑ ´ë¾ÈÀ¸·Î Ç¥Áؿ ¹× ½ÉÀÇ¿Í °ü·ÃµÈ °Å¹ö³Í½º ü°è(ƯÈ÷ »ê¾÷Ç¥ÁؽÉÀÇȸ) ÀÇ ¼º°ú°ü¸® ¹× Æò°¡ ü°è ±¸Ãà ¹æ¾ÈÀ» Á¦¾ÈÇÏ¿´´Ù. ¿¬±¸¸ñÀûÀ» ¼öÇàÇϱâ À§ÇØ º» ¿¬±¸´Â ¹®Ç忬±¸¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·ÎÇöÀç »ê¾÷Ç¥ÁؽÉÀÇȸÀÇ ¼º°ú°ü¸®¿Í °ü·ÃµÈ ¹®Á¦Á¡À» ºÐ¼®ÇÏ¿´´Ù. ºÐ¼®°á°ú »ê¾÷Ç¥ÁؽÉÀÇȸ¿Í °ü·ÃµÈ Æò°¡Ã¼°è°¡ºÎÀçÇÑ »óȲÀ¸·Î Æò°¡Âü¿© °æÇè°ú ³ëÇÏ¿ì µîÀÌ ¼ö¸³µÇÁö ¾ÊÀº »óȲ¿¡¼­ °íµµÈ­µÈ ¼º°úÆò°¡ µîÀÇ ´Ü±âÀûÀÎ Àû¿ëÀÌ´Ù¼Ò Á¦¾àµÇ¹Ç·Î ¼º°ú°ü¸®ÀÇ °íµµÈ­ ´Ü°è µîÀ» °¨¾ÈÇÑ Àå±âÀûÀÎ ¼º°ú°ü¸®(Æò°¡) ü°èÀÇ ¹ßÀü ¹æÇâÀ» µµÃâÇÏ¿´´Ù. ¶ÇÇÑ, ´Ü±âÀûÀ¸·Î Ȱ¿ëÀÌ °¡´ÉÇÑ Æò°¡ÁöÇ¥¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î »ê¾÷Ç¥ÁؽÉÀÇȸÀÇ Ç¥Áؿ Æò°¡Ã¼°è(¾È)¸¦ µµÃâÇÏ¿´´Ù. ¶ÇÇÑ, º» ¿¬±¸´Â ÇØ´ç Æò°¡Ã¼°è(¾È)¸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î µÎ Â÷·ÊÀÇ Ç¥ÀûÁý´Ü¸éÁ¢¹ý(FGI)À» ÅëÇØ ¼º°úÆò°¡Ã¼°èÀÇ °³¼±¹æ¾ÈÀ» µµÃâÇÏ¿´´Ù. ³í¸®¸ðÇü¿¡ µû¶ó ÅõÀÔ, ¿î¿µ, »êÃ⡤°á°ú¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ¼¼ °¡ÁöÀÇ ±â¼ú½ÉÀÇȸ °£ °øÅëµÈ ¼º°úÆò°¡Ã¼°è¸¦ µµÃâÇÏ¿´´Ù. ¶ÇÇÑ, Ç¥Áغо߸¦ »ê¾÷ÀϹÝ, ȯ°æ, ±¹¹Î°Ç°­ ¹× ¾ÈÀü, ±×¸®°í »çȸÀϹÝÀÇ À¯ÇüÀ¸·Î ±¸ºÐÇϰíºÐ¾ßº° Ư¼ö ¼º°úÁöÇ¥¿Í ¿µÇâ·Â ÁöÇ¥¸¦ ¸¶·ÃÇÏ¿´´Ù.
1