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논문 표지

엔지니어링 세라믹 소재의 내플라즈마성 및 식각기구

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목차

1. 서론
2. 알루미나, 이트리아 산화물 세라믹스의 플라즈마에 의한 식각기구
3. 알루미나 모델계에서의 인위적 기공과 순도의 영향
4. 미세구조에 따른 식각후 오염입자 발생가능성 변화
5. 결론
참고문헌

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