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논문 표지

탄화규소 단결정 박막 성장 기술

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목차

1. 들어가며
2. 탄화규소의 물성적 특징
3. 탄화규소 전력 소자의 응용 분야
4. 탄화규소 단결정 성장 (Bulk Growth)
5. 단결정 박막 성장 (Epitaxial Growth)
6. 맺음말
감사의 글
참고문헌

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