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논문 표지

화학증착공정에서의 박막, 나노와이어, 나노튜브 성장의 새로운 이해

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목차

1. 서론
2. 박막중착공정 중에 생성되는 하전된 나노입자의 관찰
3. 나노입자의 생성 및 하전 원리
4. 하전된 나노입자에 의한 결정성장
5. 하전된 나노입자에 의한 박막증착 현상
6. 결론
참고문헌

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