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논문 표지

산화물 원자층 증착의 나노 기술에의 응용

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목차

1. 서론
2. 원자층 증착법의 원리 및 전통적 집적 소자에의 응용
3. 원자층 증착을 이용한 나노 소재의 합성
4. 나노 공정 기술과 산화물 원자층 증착
5. 원자층 증착법을 이용한 나노 소자의 제조
6. 마무리글
감사의 글
참고문헌

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