교보문고 SCHOLAR 스콜라
이 자료는 국가지식 연계기관과의 협약에 따라 무료로 제공됩니다.
원문을 이용하시기 위해서는 연계기관의 정책을 따르고 있으니
궁금하신 사항은 연계기관을 통해 문의하시기 바랍니다.
곧 연계기관으로 이동합니다
본문내용 바로가기
홈 > 한국세라믹학회 > 세라미스트
논문 표지

MEMS 소자로의 응용을 위한 Pb(Zr,Ti)O3 강유전체 박막의 압전 특성

원문보기 원문저장 인용정보복사 구매 4,000원

국문 초록

* 현재 컨텐츠 정보를 준비 중에 있습니다.

영문 초록

* 현재 컨텐츠 정보를 준비 중에 있습니다.

목차

1. 서론
2. PZT 박막의 압전 특성에 영향을 미치는 변수들
3. PZT 박막을 이용한 압전 MEMS 소자의 예
4. 향후 과제
참고문헌

키워드