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스퍼터링 박막공정

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목차

1. 스퍼터링 박막 공정 개론
2. 직류스퍼터링 공정
3. 반응직류스퍼터링
4. 고주파 스퍼터링 공정
5. 이온 빔 스퍼터링 법
6. 이온화 고주파 스퍼터링
7. 할로우 캐토드 디스차지법
8. 스퍼터링 제조 조건
9. 결론 및 제언

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