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박막제작을 위한 이온빔 스퍼터링

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목차

1. 스펴터링
2. 스퍼터링 원리
3. 플라즈마와이온빔
4. 이온빔 스퍼터링과 플라즈마 스펴터링의 차이
5. 이온빔 스퍼터링
6. 이온빔 스퍼터링의 장점
7. 이온빔 스퍼터링의 전망

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