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논문 표지

반도체 플라즈마 증착공정장비에서의 효율적인 장비 운영 알고리즘에 관한 연구

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국문 초록

현재 반도체 제조환경이 다양한 형태로 신속하게 진화됨에 따라 공정의 완전자동화가 이루어짐으로 인해 작업자가 공정에 개입하는 것이 불필요해지고 있다. 일반적으로 생산 장비의 성능에 의존적인 반도체 제품 생산기업에서는 병목현상이나 반송시간 지연 등과 같은 여러 문제들을 효과적으로 해결하기 위한 다양한 운영․관리방법들을 개발하여 적용하고 있다. 특히 ...

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영문 초록

Recently, implementation of full automation in semiconductor manufacturing system almost precludes workers from intervening in fabrication processes because the environment of semiconductor manufactur...

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목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 반도체 제조환경 및 클러스터 장비
Ⅲ. 플라즈마 증착공정장비에서의 효율적인 장비 운영방법
Ⅳ. 결론
참고문헌
Abstract