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논문 표지

C/W 다층박막 거울의 탄소층 특성 Property of Carbon Layer for C/W Multilayer Mirror

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국문 초록

고 에너지 X선을 이용하는 응용에서 다층박막 거울은 매우 유용하다. 고 에너지 X선은 매우 짧은 다층박막 두께주기를 요구한다. 두께주기가 수 나노미터로 매우 짧기 때문에 다층박막을 형성하는 층들은 서로 계면 거칠기나 상호확산에 영향을 준다. 3.25㎚의 두께주기를 갖는 C/W 다층박막 거울에서 1㎚의 탄소 층의 특성을 살펴보았다. 탄소의 두께가 1㎚로 매우...

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영문 초록

Multilayer mirrors are very useful for applications of high energy X-ray. X-rays of high energy require very small thickness, a few nanometers, in the d-spacing of a multilayer mirror. Each layer is c...

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목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. C/W 다층박막 거울 제작
Ⅲ. 다층박막 거울의 탄소층 특성
Ⅳ. 고찰
감사의 글
참고문헌