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논문 표지

CeO₂/YSZ/Si와 CeO₂/Si 위에 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 SrBi₂Ta₂O9 박막의 구조적 특성

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국문 초록

  Rf sputtering법으로 SrBi₂Ta₂O?(SBT) 강유전체 박막을 두 개의 다른 기판, CeO₂/YSZ/Si와 CeO₂/Si 위에 기판온도와 증착시의 O₂:Ar 분압비를 변화시키면서 제조하여 Pt/Ti/SiO₂/Si 위에 제조한 박막과 비교하였다. 상온에서 제작한 시료는 결정성을 향상시키기 위해서 후열처리를 하였다. Bi와 S...

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영문 초록

  The ferroelectric thin films, SrBi₂Ta₂O?(SBT) have been deposited by means of rf magnetron sputtering technique onto two different substrate, CeO₂/YSZ/Si and CeO₂/Si with various substrate...

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목차

요약
Abstract
서론
실험방법
결과 및 논의
결론
참고문헌

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