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홈 > 대한방사선과학회(구 대한방사선기술학회) > 방사선기술과학
논문 표지

MWPECVD에 의한 박막의 합성과 방사선 검출 특성에 관한 연구

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국문 초록

방사선검출기에 시용되는 다이아몬드는 그 비저항이 10^12[Ωm]로 ao우 크기 때문에 고전압 하에서도 누설전류가 매우 작아 실리콘과 달리 p-n 접합을 하지 않고 바로 고전압을 걸 수 있는 이점이 있다. 또한 절연파괴 전압이 매우 크기 때문에 이동속도가 포화되는 전압까지 올릴 수 있다. 이 결과 다이아몬드 내에서의 전하 이동속도는 실리콘의 최대속도보다 약...

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영문 초록

Synthesis diamond films have been deposited on the molybdenum substrates using an microwave plasma enhanced chemical vapor deposition method. The effects of deposition time, surface morphology, infrar...

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목차

국문요약
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험장치 및 방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract

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