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There is an Overhead Hoist Transport(OHT) by the system for delivering the wafer in semiconductor processing. The transfer system consists of carrier, vehicle, rail and support. OHT Control and Manage...
Abstract
1. 서론
2. 최적 중앙제어
3. 충돌 방지
4. 소프트웨어 상에서의 구현
5. 시뮬레이션 결과
6. 결론
참고문헌
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